De elektronen backscatter diffractie (EBSD) techniek – een krachtig instrument om microstructuren door SEM (scanning elektronenmicroscopie) te studeren.
Op het gebied van scanning elektronenmicroscopie (SEM) is de electron backscatter diffraction (EBSD) techniek ontwikkeld tot een krachtig hulpmiddel voor de kristallografische analyse van materialen. In het bijzonder hebben de opkomst van computeralgoritmen voor de volledige geautomatiseerde analyse van diffractiepatronen de techniek geduwd om een nieuwe soort scanmicroscopietechniek te ontwikkelen, bekend als “orientation imaging microscopy, OIM *” [1] van “crystal orientation microscopy/Mapping, COM”. Het maakt gebruik van computeralgoritmen voor de geautomatiseerde analyse van de diffractiepatronen. De COM techniek is gebaseerd op de achtereenvolgende verkrijging van elektronen diffractiepatronen, verkregen vanuit elk punt van een scanrooster op een vlak oppervlak van een steil hellend monster in de SEM. De automatisch analyse van deze EBSD-patronen levert voor elk scanpunt de kristallografische oriëntatie, fase en een waarde die de kwaliteit van het diffractiepatroon aangeeft. Uit deze gegevens kan de microstructuur van het gescande gebied worden gereconstrueerd. De resulterende kristaloriëntatie kaarten geven een enorme hoeveelheid informatie over het monster, zoals soort en de verdeling van verschillende fasen, grootte, vorm en defecte conditie van granen, soort en positie van korrelgrenzen, lokale kristaloriëntatie en misoriëntatieverdeling (textuur) en vele anderen.
Bovendien, EBSD kan gebruikt worden om de structuur van kristallen, d.w.z. roostersymmetrie en roosterparameters te onderzoeken. Met toegewijde software kunnen zelfs details van het atoomrooster [2] en restspanning [3] worden bepaald. EBSD techniek maakt het toezicht op bulkmonsters mogelijk, d.w.z. geen dunne folies zoals in het geval van TEM nodig zijn, met een aanvaardbaar hoge ruimtelijke resolutie van ongeveer 50mm. Monstervoorbereiding is meestal minder gecompliceerd dan TEM en bestaat uit een nauwkeurig, mechanisch, chemisch of ion geassisteerde polijsten met als doel het produceren van een vlak en defect-vrij oppervlak.
Een uitgebreid overzicht van de stand van de techniek wordt gegeven door het boek Schwartz et al. [4]. Een zeer recent overzicht wordt binnenkort gepubliceerd door [5].
Lees meer
