De door MBRAUN ontwikkelde UV-Clean BT is een systeem voor UV-ozonreiniging van halfgeleider- en optische oppervlakken en wordt veel gebruikt in de elektronica- en halfgeleiderindustrie en in wetenschappelijke onderzoeksgebieden, waaronder biologie, scheikunde, fysica en materiaalkunde. Het proces zorgt voor een schoon, koolwaterstofvrij optisch oppervlak met aanzienlijk verbeterde hechtingseigenschappen voor dunne film en UV-hars. Het systeem is bedoeld voor gebruik met inert gas systemen of voor integratie in MBRAUN-handschoenkasten, en verkrijgbaar als een tafelversie met een stand-alone besturingseenheid. Door gebruik te maken van ozon- en UV-lichtbestendige afdichtingsmaterialen en componenten, evenals isolatiekleppen op de gasinlaat en uitlaat van de proceskamer, is de hermetisch afgesloten kamer volledig geïsoleerd van de inerte atmosfeer in de handschoenkast. Met de besturingseenheid kan de tijd worden ingesteld, terwijl een geïntegreerde flowmeter wordt gebruikt om de procesgasstroom tijdens het reinigingsproces aan te passen. Zodra de vooraf ingestelde bestralingstijd is verstreken, wordt de zuurstoftoevoer automatisch afgesloten en wordt de proceskamer met stikstof gespoeld totdat alle procesgassen zijn verwijderd.

Geschreven door